+7 (343) 2000-311
 
+7 912 25-45-747 
Все документы // ГОСТы, СНиПы, РД, ПБ, СП, ОР, СТО... // 01 Общие положения. Терминология. Стандартизация. Документация // ГОСТ 2.113-75 Единая система конструкторской документации. Групповые и базовые конструкторские документы

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений (СИ) характеристик ультрафиолетового (УФ) излучения, используемые при технологическом контроле в нанофотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок.

  • Статус документа: Информация о статусе доступна в коммерческой версии


Если у Вас не открылся документ, скачайте и установите, пожалуйста, бесплатное приложение: Acrobat Reader

Или корректно введите свой пароль для доступа к сайту.


При демонстрационном доступе полный текст данного документа Вы можете получить на свой E-mail заполнив форму запроса документа.


Если Вы являетесь подписчиком и не можете получить доступ к документу, напишите, пожалуйста, письмо на Этот адрес электронной почты защищен от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра. и в кратчайшие сроки доступ будет восстановлен.