Настоящий стандарт распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений эллипсометрических углов Дельта и Пси - разность фаз между двумя ортогональными р- и s-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, tg Пси - отношение амплитуд р- и s -компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) для оптического излучения в видимой области спектра и устанавливает назначение государственного первичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи единиц эллипсометрических углов от государственного первичного эталона с помощью рабочих эталонов 1-го и 2-го разрядов рабочим средствам измерений с указанием погрешностей и основных методов передачи единиц.