Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового излучения - радиометры (дозиметры) ЭУФ излучения, используемые для измерений энергетической освещенности и экспозиционной дозы в диапазоне длин волн 1-10 нм, и устанавливает методику их поверки. Средства измерений характеристик УФ излучения обеспечивают в диапазоне длин волн 1 - 10 нм измерения ЭД в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 10-7 Дж, верхняя – не менее 2•10-1 Дж и ЭО в динамическом диапазоне, нижняя граница которого составляет не более 0,01 Вт/м кв., верхняя – не менее 20 Вт/м кв. Межповерочный интервал – один год.